九乡新闻网跟团深圳南澳一日游:三栅晶体管制作技术难点
来源：百度文库 编辑：九乡新闻网 时间：2024/04/29 22:06:42
制作三栅晶体管的技术难点：
Gartner的分析报告称要实现Finfet技术，需要克服许多制造技术方面的难关。比如要制造出Finfet晶体管，要求光刻机的图像对准性能较好。“过去人们认为只有采用EUV光刻机才有可能制造出Finfet晶体管，不过由于ASML或者尼康生产的193nm液浸式光刻机具有极高的套准精度(overlay)，因此也有可能采用这种光刻机制造出Finfet晶体管。”
Finfet侧墙掺杂密度控制示意图
另外，尽管采用PIII(Plasma-immersion ion implantation)离子注入工艺可以实现，但如何保证Fin两侧漏源极侧墙部位从上到下杂质掺杂（目的是减小漏源极的电阻）密度的均匀性则是另外一个Finfet制造的难题。
此外，制造Finfet结构时蚀刻Fin时如何保证Fin侧壁的粗糙度控制在一定的水平之内则是另一个难题。
Gartner的分析报告称要实现Finfet技术，需要克服许多制造技术方面的难关。比如要制造出Finfet晶体管，要求光刻机的图像对准性能较好。“过去人们认为只有采用EUV光刻机才有可能制造出Finfet晶体管，不过由于ASML或者尼康生产的193nm液浸式光刻机具有极高的套准精度(overlay)，因此也有可能采用这种光刻机制造出Finfet晶体管。”
Finfet侧墙掺杂密度控制示意图
另外，尽管采用PIII(Plasma-immersion ion implantation)离子注入工艺可以实现，但如何保证Fin两侧漏源极侧墙部位从上到下杂质掺杂（目的是减小漏源极的电阻）密度的均匀性则是另外一个Finfet制造的难题。
此外，制造Finfet结构时蚀刻Fin时如何保证Fin侧壁的粗糙度控制在一定的水平之内则是另一个难题。
三栅晶体管制作技术难点
制作简单NE5534推动晶体管的耳放电路图文
聚光光伏发电系统的技术难点解析
@“卤菜”制作技术详解
重庆酸辣粉制作技术
美味花生米制作技术
大图音画制作技术
青贮饲料制作技术 - 晓谕
四川腊肉制作技术
“卤菜”制作技术详解
自动开合花制作技术
夜光画制作技术
PPT课件制作技术
玻璃钢瓦制作技术
高三语文标点符号的八个难点突破
三网融合难点在广电台网分离
研究内容、创新点、技术难点、技术路线、实施方案 - 基金申请 - 小木虫 - 学术 科研 第一站
常用晶体管资料大全
网络游戏制作技术（三）—— 线程池处理部分_沧海横流，方显英雄本色 风云变幻，引发志士豪情...
各种美味花生米制作技术
各种美味花生米制作技术
58项ppt制作技术
144项PPT制作技术
立体图像的制作技术