膜盒压力表有啥用:中国电科研制成功300毫米硅材料多线切割机
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《 人民日报 》( 2011年01月13日 06 版)
本报北京1月12日电 (记者余建斌)记者12日从中国电子科技集团公司2011年工作会议上获悉:由中国电子科技集团公司承担的国家重大科技专项任务日前取得突破,研制成功了300毫米硅材料多线切割机,打破了国内生产线上运行的12英寸硅材料多线切割机全部为进口设备的现状。
据介绍,300毫米硅材料多线切割机研制是中国电科承担的国家重大科技专项任务——极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项课题之一,研制成功的该设备具有完全自主知识产权。该技术可应用到太阳能电池行业,可一次性切割156毫米×156毫米的硅片5000—6000片。
本报北京1月12日电 (记者余建斌)记者12日从中国电子科技集团公司2011年工作会议上获悉:由中国电子科技集团公司承担的国家重大科技专项任务日前取得突破,研制成功了300毫米硅材料多线切割机,打破了国内生产线上运行的12英寸硅材料多线切割机全部为进口设备的现状。
据介绍,300毫米硅材料多线切割机研制是中国电科承担的国家重大科技专项任务——极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项课题之一,研制成功的该设备具有完全自主知识产权。该技术可应用到太阳能电池行业,可一次性切割156毫米×156毫米的硅片5000—6000片。
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